芯恩(青岛)集成电路取得化学机械抛光设备研磨碟钻石监测装置专利,避免降低晶圆的制备良率
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2025-05-20 22:02:21
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金融界2025年5月20日消息,国家知识产权局信息显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司取得一项名为“一种用于化学机械抛光设备研磨碟上钻石的监测装置”的专利,授权公告号CN222874204U,申请日期为2024年08月。

专利摘要显示,本实用新型提供了一种用于化学机械抛光设备研磨碟上钻石的监测装置,包括设于化学机械抛光机台或外设支架上的信号采集部,以及与所述信号采集部电性连接的显示器和处理器,所述信号采集部采集研磨前和研磨后的研磨碟上的钻石分布状态信号,所述处理器接收研磨前和研磨后的研磨碟上的钻石分布状态信号,通过分析研磨前和研磨后的研磨碟上的钻石分布状态信号是否在预设范围内,以对研磨后的研磨碟上的钻石是否存在掉落或破碎进行监测;本实用新型中的监测装置,可以对化学机械抛光设备研磨碟上的钻石进行实时监控,以防止在钻石掉落或破碎的情况下对晶圆进行加工,从而能够避免脱落或破碎的钻石对晶圆造成刮伤,进而避免降低晶圆的制备良率。

天眼查资料显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司,成立于2018年,位于青岛市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析,芯恩(青岛)集成电路有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目167次,财产线索方面有商标信息15条,专利信息664条,此外企业还拥有行政许可55个。

来源:金融界

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