国家知识产权局信息显示，常州锆芯科技有限公司申请一项名为“具有真空吸附调整功能的陶瓷手指晶圆搬运装置及系统”的专利，公开号CN121237717A，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种具有真空吸附调整功能的陶瓷手指晶圆搬运装置及系统，其中装置包括：陶瓷手指包括接触晶圆的承接台阶和抓取晶圆的吸附组件；真空生成机构与吸附组件连接，为晶圆提供吸附力；检测机构测量晶圆的重量与承接台阶的形变量；控制机构与检测机构和真空生成机构连接，用于根据所述检测机构获得的的重量与形变量输出并动态调节所述真空生成机构的吸附力。本发明通过承接台阶与吸附组件承接与搬运晶圆，通过真空生成机构提供稳定的吸附力，通过检测机构对晶圆的重量以及承接台阶的形变量进行实时测量，控制机构根据检测机构的输出实时动态调节吸附力的功能，确保形变量保持在安全区间内，减少晶圆的形变。

天眼查资料显示，常州锆芯科技有限公司，成立于2025年，位于常州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，常州锆芯科技有限公司专利信息5条。

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来源：市场资讯