国家知识产权局信息显示,安徽富乐德科技发展股份有限公司申请一项名为“大气等离子喷涂制备氟化钇复合陶瓷涂层的方法及应用”的专利,公开号CN121204597A,申请日期为2025年9月。
专利摘要显示,本发明涉及表面工程技术领域,公开了一种大气等离子喷涂制备氟化钇复合陶瓷涂层的方法及系统,旨在解决氟化钇涂层在铝基材表面因氟离子扩散生成脆性氟化铝层导致结合强度低、易剥落失效的问题。该方法包括:对铝基材依次进行机械打磨、超声清洗与喷砂粗化;制备由氟化钇、氧化钇及纳米氧化铝按75:20:5质量比混合的复合粉末;采用大气等离子喷涂依次沉积氧化钇过渡层、复合阻挡层与氟化钇功能层;最后进行真空后热处理。该系统通过三层梯度结构协同作用,过渡层形成铝酸钇冶金结合界面,阻挡层以纳米氧化铝物理屏障与氧化钇化学吸附双重机制抑制氟离子扩散,功能层保障抗等离子体侵蚀性能。本申请显著提升涂层结合强度至50MPa以上,孔隙率低于3%,在500小时高能等离子体轰击下无剥落,工艺成本降低40%,适用于半导体刻蚀设备腔体防护。
天眼查资料显示,安徽富乐德科技发展股份有限公司,成立于2017年,位于铜陵市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本33839万人民币。通过天眼查大数据分析,安徽富乐德科技发展股份有限公司共对外投资了9家企业,参与招投标项目38次,财产线索方面有商标信息10条,专利信息100条,此外企业还拥有行政许可46个。
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来源:市场资讯
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