中鑫博远取得半导体制造晶圆光刻设备专利，减少陶瓷盘上工作时产生的灰尘_艺术资讯

中鑫博远取得半导体制造晶圆光刻设备专利，减少陶瓷盘上工作时产生的灰尘

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2025-05-09 20:32:30

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金融界2025年5月9日消息，国家知识产权局信息显示，中鑫博远（北京）科技有限公司取得一项名为“一种半导体制造晶圆光刻设备”的专利，授权公告号CN222838348U，申请日期为2024年8月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种半导体制造晶圆光刻设备，包括底座，所述底座的顶部固定连接有支撑板，所述底座的顶部固定连接有机台，所述底座的后侧固定连接有第一电机，所述底座的顶部开设有第一凹槽，所述第一电机的输出端固定连接有位于第一凹槽内的第一螺杆，所述第一螺杆的外侧螺纹连接有第一移动块。本实用新型通过设置第一螺杆与第一移动块，第一电机可带动移动座前后移动，便于对陶瓷盘上快速上料，通过设置第一导流槽与过滤箱，抽风机可从右侧将陶瓷盘上的灰尘吸进过滤箱内，通过设置气管与第二导流槽，抽风机可从左侧对陶瓷盘上吹风，配合第一导流槽抽风，减少陶瓷盘上工作时产生的灰尘，防止残留在晶圆片上。

天眼查资料显示，中鑫博远（北京）科技有限公司，成立于2022年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本200万人民币。通过天眼查大数据分析，中鑫博远（北京）科技有限公司财产线索方面有商标信息1条，专利信息5条，此外企业还拥有行政许可1个。

来源：金融界

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