市场最新消息显示，珂玛科技半导体设备用碳化硅陶瓷部件的扩建项目获最新进展。9月15日，滁州市人民政府发布了关于《安徽珂玛材料技术有限公司半导体设备用碳化硅材料及部件项目环境影响报告表》受理公示。

图片来源：滁州市人民政府官网公示截图

安徽珂玛材料技术有限公司计划在滁州市中新苏滁高新技术产业开发区苏滁现代工业坊陆号厂房进行扩建，项目投资6542.42万元，环保投资20万元。

此次扩建项目将租赁苏滁现代工业坊陆号厂区1号厂房，建筑面积5135平方米，购置碳化硅高温烧结炉、碳化硅高温渗硅炉、工艺舟开槽机、清洗及烘干设备、注浆成型生产线、数控磨床、数控车床、CNC加工中心等74台套设备。项目新增半导体设备用碳化硅陶瓷部件11000件/年（约8吨/年），调浆工艺增加真空搅拌设备，使浆料调配更加均匀，进一步提高产品质量。

公开资料显示，安徽珂玛材料技术有限公司是苏州珂玛材料科技股份有限公司的子公司，成立于2022年11月，主要从事碳化硅晶舟、碳化硅炉管等高精密陶瓷部件以及各种专业设备的设计制造。

2023年，企业申报“高端装备用先进陶瓷材料和部件生产项目”，于2023年6月2日取得中新苏滁高新技术产业开发区建设房产环保局批复。该项目总投资12000万元，租用苏滁现代工业坊陆号厂区6号厂房，购置烧结炉、渗硅炉、造粒机、注浆机、挤出机、干燥机等设备，建设碳化硅陶瓷生产线。

项目建成后可年产290吨机械设备换热防腐部件和10吨半导体设备用碳化硅陶瓷部件。目前，年产180吨机械设备换热防腐部件和8吨半导体设备用碳化硅陶瓷部件生产装置已建成，于2024年10月19日通过自主验收并完成排污许可登记。由于6号厂房空间限制，剩余110吨机械设备换热防腐部件和2吨半导体设备用碳化硅陶瓷部件生产线不再建设。

此次扩建项目将进一步提升安徽珂玛在半导体设备用碳化硅陶瓷部件领域的生产能力，满足市场对高精密陶瓷部件的不断增长需求，推动半导体产业的发展。

在技术层面，珂玛科技近年来取得了显著进展。其超高纯碳化硅套件产品纯度高达99.99%，缺陷密度控制在每平方厘米不超过1个，技术指标达到国内领先水平。目前，6英寸产品已实现量产，并向北方华创等头部客户稳定供货；8英寸产品在客户端的验证工作基本完成，正在推进Fab端的量产应用；12英寸部件，如晶舟和隔热片，也已进入设备验证阶段。

此外，7月22日，珂玛科技拟以1.02亿元现金收购苏州铠欣73%的股权。苏州铠欣在CVD碳化硅陶瓷零部件领域技术深厚，其产品已在Si外延、SiC外延、GaN外延等多个领域实现规模化应用，碳化硅刻蚀环、碳化硅喷淋头、12英寸Si外延用碳化硅涂层石墨基座等先进产品的开发也取得了良好进展。

图片来源：珂玛科技公告截图

同时，珂玛科技位于江苏苏州的先进材料生产基地已正式投产，重点布局陶瓷加热器、静电卡盘及超高纯碳化硅套件等“结构-功能”一体化模块产品。

在市场方面，珂玛科技同样表现强劲。2025年上半年，公司营业总收入达到5.2亿元，同比增长35.34%；归母净利润为1.72亿元，同比增长23.52%。在全球半导体设备市场复苏的背景下，公司来自国内外头部半导体设备厂商的订单持续增加。

（文/集邦化合物半导体 竹子 整理）