应用材料申请具有多个陶瓷盘的基板支撑载体专利，含静电吸盘组件等构造
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2025-08-18 14:01:31
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金融界2025年8月18日消息，国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“具有多个陶瓷盘的基板支撑载体”的专利，公开号CN120500744A，申请日期为2024年01月。
专利摘要显示，基板支撑载体包括静电吸盘(ESC)组件，该静电吸盘(ESC)组件包括具有由顶部陶瓷盘的下表面形成的凹槽的顶部陶瓷盘、具有穿过底部陶瓷盘的孔的底部陶瓷盘、插入在顶部陶瓷盘的下表面与底部陶瓷盘的上表面之间的上结合层，以及在顶部陶瓷盘的凹槽和底部陶瓷盘的孔中的至少一者内的多孔塞；温度控制底座；以及插入在底部陶瓷盘的下表面与温度控制底座的上表面之间的下结合层。
来源：金融界
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