美科陶瓷申请设置有高频电极杆的基座专利,提供一种设置有高频电极的陶瓷板基座
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2025-06-24 09:35:10
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金融界2025年6月24日消息,国家知识产权局信息显示,美科陶瓷科技有限公司申请一项名为“陶瓷基座”的专利,公开号CN120199673A,申请日期为2024年12月。

专利摘要显示,本发明公开了一种设置有高频电极杆的基座。本发明提供一种基座,其包括设置有高频电极的陶瓷板,所述基座包括:电极杆,所述电极杆的一端部与所述高频电极电连接,另一端部与电源电连接,并且所述电极杆用于向所述高频电极供电。所述电极杆包括:母材,由Mo、W或它们的金属合金制成;以及金属氮化膜,包裹所述母材表面。

来源:金融界

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