美科陶瓷申请设置有高频电极杆的基座专利，提供一种设置有高频电极的陶瓷板基座
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2025-06-24 09:35:10
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金融界2025年6月24日消息，国家知识产权局信息显示，美科陶瓷科技有限公司申请一项名为“陶瓷基座”的专利，公开号CN120199673A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种设置有高频电极杆的基座。本发明提供一种基座，其包括设置有高频电极的陶瓷板，所述基座包括：电极杆，所述电极杆的一端部与所述高频电极电连接，另一端部与电源电连接，并且所述电极杆用于向所述高频电极供电。所述电极杆包括：母材，由Mo、W或它们的金属合金制成；以及金属氮化膜，包裹所述母材表面。
来源：金融界
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