长光启辰申请导热均匀的碳化硅陶瓷加热盘专利,导热均匀
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2025-12-01 19:03:22
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国家知识产权局信息显示,长春长光启辰科技有限公司申请一项名为“一种导热均匀的碳化硅陶瓷加热盘”的专利,公开号CN121038024A,申请日期为2025年10月。

专利摘要显示,本发明公开了一种导热均匀的碳化硅陶瓷加热盘,涉及晶圆加工技术领域,包括控制座与加热盘,所述加热盘设于控制座上端并与其电性连接,所述加热盘内部底端固定连接有三组伸缩支撑杆,所述位于正中心位置的伸缩支撑杆上端固定连接有第一承载台,剩余两组伸缩支撑杆上端固定连接有第二承载台,第一承载台上端固定连接有第一电热丝,第二承载台上端固定连接有第二电热丝,晶圆直径小于第一陶瓷片,仅下压第一陶瓷片,带动第一承载台与第一电热丝上移,单独贴合第一陶瓷片锁热槽;晶圆直径大于第一陶瓷片,同步下压第一、第二陶瓷片,带动两组承载台与电热丝上移,分别贴合对应陶瓷片锁热槽。

天眼查资料显示,长春长光启辰科技有限公司,成立于2021年,位于长春市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,长春长光启辰科技有限公司专利信息12条,此外企业还拥有行政许可2个。

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来源:市场资讯

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