云在上半导体等申请用于刻蚀加工的陶瓷静电吸盘专利,保证静电吸盘冷却更加均匀
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2025-06-10 16:34:05
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金融界2025年6月10日消息,国家知识产权局信息显示,深圳市云在上半导体材料有限公司、湖南湘芯新材料有限公司、湖北云在上半导体有限公司申请一项名为“用于刻蚀加工的陶瓷静电吸盘”的专利,公开号CN120127048A,申请日期为2025年05月。

专利摘要显示,本申请公开了用于刻蚀加工的陶瓷静电吸盘,所述用于刻蚀加工的陶瓷静电吸盘包括:陶瓷静电吸盘本体,所述陶瓷静电吸盘本体的基板内部设置有双涡形管路组件、冷水循环系统;为了解决现有技术中普通的循环水冷系统针对静电吸盘进行冷却时,冷却不均匀的问题,本申请通过双涡形管路组件的双涡形结构,一个涡形管道冷却水由外围向中心流动,另一个涡形管道冷却水由中心向外围流动,通过双涡形管道对流设置,保证静电吸盘冷却更加均匀,避免了单一流道中冷却水逐渐升温导致的冷却不均匀问题,进一步的解决了普通循环水冷结构在长时间工作后,由于冷却水温度变化导致对静电吸盘降温变化的问题。

天眼查资料显示,深圳市云在上半导体材料有限公司,成立于2023年,位于深圳市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市云在上半导体材料有限公司共对外投资了3家企业,财产线索方面有商标信息1条,专利信息15条,此外企业还拥有行政许可2个。

湖南湘芯新材料有限公司,成立于2024年,位于娄底市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本9800万人民币。通过天眼查大数据分析,湖南湘芯新材料有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目2次,专利信息5条,此外企业还拥有行政许可4个。

湖北云在上半导体有限公司,成立于2024年,位于襄阳市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析,湖北云在上半导体有限公司参与招投标项目4次,专利信息8条,此外企业还拥有行政许可1个。

来源:金融界

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